供应钛泵

钛泵的性能　　（1） 极限压强：10-8帕 

　　（2） 抽速： 

　　钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应较佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。 

　　（3） 启动压强：10-2帕 

　　（4） 寿命： 

　　a、阴极耗尽寿命 

　　阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。 

　　b、阳极剥落寿命 

　　阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。 

　　c、阳极吸饱寿命 

　　阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。 

　　在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。